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高教实验产品系列
THCLZK-1型 多功能真空实验仪

产品类别:物理系列(真空与材料制备)

产品简介

一、 概 述
    本仪器由机械泵、玻璃油扩散泵、真空测量、真空蒸镀室、电控系统及测量仪表组成,可以完成真空制备,薄膜制备等功能。
二、 特 点
    1. 通过真空玻璃罩能清晰地观察到蒸发、溅射等物理过程
    2. 操作简便,显示清晰
三、 配置及技术性能
    1. 机械泵:抽速0.5l/s,极限真空0.06Pa,转速:1400r/min
    2. 玻璃油扩散泵: 三级油扩散泵内60l/s,极限压强是1×10-5Pa
    3. 加油量:120ml~150ml
    4. 真空测量范围 :0~101.3kPa
    5. 真空测量分辨率:±0.001Pa
四、 实验项目
    1. 真空的制备和测量
    2. 热蒸发法进行薄膜制备
 

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